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酸素プラズマ処理によるシリコン添加DLC膜の低摩擦化

発行	2009 年（Vol. 54 ） 11 号 783 頁
出典	トライボロジスト
種別	論文
特集
標題	酸素プラズマ処理によるシリコン添加DLC膜の低摩擦化
著者	崔埈豪,角田篤史,熊谷知久,加藤孝久,川口雅弘
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